BASF Exactus® 系列測溫儀EX-C-7FL，紅外測溫儀測溫范圍100-1800℃，精度高達1.5℃, 重復性0.1℃。適用于AIXTON G3, G4， G5以及國內設備廠MOCVD的藍寶石光管紅外測溫系統

XACTUS®提供：

使用短波長進行低溫測量（25°C 或更高）

使用 200nm 紅外輻射測量低至 900°C 的單晶硅

精度高，分辨率高達0.001°C，精度高達1.5°C

速度高達每秒 1，000 個讀數

在任何給定波長下具有寬動態范圍

測溫重復性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC

精密度高, 分辨率達 0.01 oC , 測溫精度1.5 oC

典型應用

硅晶生長	薄膜沉積
激光/感應焊接	玻璃加工
工業加熱